在极粗电子束加工装置中，在电子*的阴极上施加很短的高电压（25KV）脉冲，把所产生的电子通过等离子体而生成电流密度很高的电子束，用该电子束照射工件实施表面加工。

    这项技术的关键是，使电子束不聚焦而照射到某一固定面积上。目前电子束的直径为60mm,而且每次照射2us重复30次左右为1个照程，反复进行若干个照程。但是要想确定最佳条件，尚需要根据工件材料和形状积累大量严密的数据库。一般约需要2个照程。

    模具的加工面，有电火花加工得到的梨皮面、铣削加工得到的切削面以及磨削面等，现在又增加了一种用特殊电子束照射在数分钟内就能得到的镜面。

    实际加工方法是，把工件安装在真空容器中的工作台之后，用真空泵经5~20min左右的时间抽真空，再用电子束经数分钟照射即完成。在加工件面积较大时，可使工作台在真空中移动，反复进行照射来完成。

    由于该加工方法是应用电子束进行的，所以利用特殊的能量控制就能将范围较大的加工精度的精密模具来说，加工装置是业界首创的划时代的一种加工技术。

    模具制作中最终加工的抛光工序，从手工作业到自动机床已有很多加工方法，然而不管哪一种加工方法效率都很低，需要花费很多时间。EBM能在极短时间内完成抛光加工，因此这一加工方法正受到业界的关注。此项技术是日本冈山大学宇野义幸教授与永田精机（东京都丰岛区、永田靖夫社长）的技术研究所通过技术合作而开发的，其产品从2003年9月已开始上市。